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聚焦離子束(FIB)系統

Crossbeam 540聚焦離子束(FIB)系統采用液態鎵離子源。離子源壽命為3000μAh。加速電壓30kV下分辨率可達3nm。同時配有五支氣體注入系統,及透射電鏡樣品制備用機械手。該系統可適用于橫截面和斷層掃描,3D分析,TEM樣品制備及納米圖形加工。


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服務介紹:

Crossbeam 540聚焦離子束(FIB)系統采用液態鎵離子源。離子源壽命為3000μAh。加速電壓30kV下分辨率可達3nm。同時配有五支氣體注入系統,及透射電鏡樣品制備用機械手。該系統可適用于橫截面和斷層掃描,3D分析,TEM樣品制備及納米圖形加工。

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