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光刻設備-電子束光刻

電子束光刻系統JEOL JBX-9500FS

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JEOL JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統。最大能容納Φ300mm的晶圓片和6英寸的掩模版。具有100MHz的掃描速度。1000μm×1000μm寫場的套刻精度達到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內位置精度達±9nm。采用20位的光束定位DAC以及14位的掃描DAC,可以得到0.25nm的掃描步距。該系統適合光子器件、通信設備、納米壓印等多個領域的研發及生產。



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公司名稱:華慧芯科技(天津)有限公司

平臺簡介: 

    清華大學天津電子信息研究院高端光電子芯片創新中心,占地約800平方米,其中百級黃光區100平方米。中心擁有完整的光電子器件研發設備,支持III-V族半導體、硅基半導體、二維材料、柔性材料、金屬材料等光電子芯片的研發,并具有多個納米尺度的特色工藝模塊和先進表征模塊;配套的測試實驗室提供國際領先的芯片測試分析技術。

    中心在支持天津電子院項目孵化的同時,面向社會開放,提供納米尺度下光電子芯片的制備工藝的解決方案,以提升我國光電子芯片的研發水平和產業化進程。

地址:天津

服務保障:已審核 已通過企業認證


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