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外延系統-金屬有機化學氣相沉積系統


金屬有機化學氣相沉積系統AIXTRON CCS

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AIXTRON CCS 通過金屬有機化學氣相沉積法,將金屬有機源和五族氣體源同時引入高溫反應室,精確控制源流量、溫度、反應時間等參數,在穩定的流場和溫場條件下沉積單晶薄膜材料。系統控制精度可達到原子層級。


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公司名稱:華慧芯科技(天津)有限公司


平臺簡介: 


    清華大學天津電子信息研究院高端光電子芯片創新中心,占地約800平方米,其中百級黃光區100平方米。中心擁有完整的光電子器件研發設備,支持III-V族半導體、硅基半導體、二維材料、柔性材料、金屬材料等光電子芯片的研發,并具有多個納米尺度的特色工藝模塊和先進表征模塊;配套的測試實驗室提供國際領先的芯片測試分析技術。


    中心在支持天津電子院項目孵化的同時,面向社會開放,提供納米尺度下光電子芯片的制備工藝的解決方案,以提升我國光電子芯片的研發水平和產業化進程。


地址:江蘇


服務保障:已審核 已通過企業認證


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